测量部件表层粗糙度时，将传感器放在部件被测表层上，传感器通过内置的锐利触针感受被测表层的粗糙度，此时部件被测表层的粗糙度引起触针发生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表层做等速滑行，该信号经过放大及电平转换之后进入数值采集系统，从而在相敏整流器的输出端发生与被测表层粗糙度成比例的模拟信号，DSP芯片将采集的数值进行数字滤波和参数计算，测量结果在液晶显示器上读出，也可在打印机上输出，还可以与PC机进行通讯。